Гибридный турбомолекулярный насос, скорость откачки по азоту - 84 л/c. Нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный. Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса.
Давление предельное остаточное, мбар: < 5 x 10¯¹⁰
Коэффициент сжимаемости азота: > 1х10¹¹
Коэффициент сжимаемости аргона: > 1х10¹¹
Коэффициент сжимаемости водорода: 2х10⁵
Коэффициент сжимаемости гелия: 2х10⁷
Масса, кг: 4,4
Скорость вращения, об/мин: 90000
Скорость откачки по азоту, л/с: 84
Скорость откачки по аргону, л/с: 80
Скорость откачки по водороду, л/с: 54
Скорость откачки по гелию, л/с: 78
Соединения вакуумные, входное/выходное: CF63 / NW16
Тип охлаждения: Водяное / воздушное
Давление азота на выходе (макс.), мбар: ‒
‒ при естественной конвекции (23/30°C): 1/2
‒ при охлаждении водой (23/30°C): 10/16
‒ при принудительном воздушном охлаждении (23/35°C): 10/16
Поток азота на входе (макс.), л/мин: ‒
‒ при естественной конвекции (23/30°C): 0,025 / 0,01
‒ при охлаждении водой (23/30°C): 0,06 / 0,05
‒ при принудительном воздушном охлаждении (23/35°C): 0,06 / 0,03
Насос в собранном виде, готовый к использованию, с инструкцией по эксплуатации.